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GFS™は、正確な一次質量流量標準を提供し、低ガス質量流量の基本的な測定を実用的なものにします。
- 様々なガスの0.2~200 mg/sのレンジ(10 sccm~10 slmのN2)に対応
- 対象となるガス: 非腐食性ガス、無毒性ガス
- 流量測定の不確かさ:読み値の± 0.013%
- 最大出口圧力:650 kPa(絶対圧力)
- 主な重量測定基準:質量と時間の測定
- 自動無人運転可能
こちらの製品については日本国内での窓口は株式会社大手技研となっております。
GFS 動的重量測定マス・フロー校正器は、劣化ガス質量、および動作した時間の正確なリアルタイムの測定に必要な、電子マス・バランス、筐体、および電子機器で構成されます
。熱的安定度を向上させ、振動を弱めるために、バランスを大きな花こう岩のプレート上に置き、ドラフト筐体で囲みます。このシステムでは、テスト用ガスが加圧シリンダーにより供給されます。これはバランスの上にあり、テスト中に減った質量とその比率を特定するために、質量が継続的に測定されます。これが実行される場合の経過時間は、システム・コントローラーに接続された高速 USB カウンター/タイマーにより測定されます。このシステムでは、さまざまな種類の非腐食性ガスを、単純に基準シリンダーを排気し、最適な媒体で加圧することにより使用できます。
専用の PC ベースのソフトウェア・プログラム(GFSTools™)は、ユーザーに対する機器およびインターフェイスの中央制御として機能するように開発されました。バランスの離散値および平均値とテスト中のデバイスの出力が記録され、結果が計算されて、全質量とマス・フローを単位として表示されます。周辺圧力、温度、および湿度の測定の補償と、バランス・ドリフトは、すべて GFSTool により実行されます。自動テスト・セットアップ、データ・レポート作成、および流量制御も、このプログラムにより処理されます。
こちらの製品については日本国内での窓口は株式会社大手技研となっております。
GFS 全般仕様 |
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電源仕様 | ||
バランス | 100 ~ 240 VAC、50 ~ 60 Hz、最大 27 W消費電力) | |
LCM | 100 ~ 240 VAC、50 ~ 60 Hz、最大 40 W消費電力) | |
MFC-CB | 85 ~ 264 VAC、50 ~ 60 Hz、最大 36 W消費電力) | |
使用温度範囲 | 15 ~ 25 °C | |
湿度範囲 | 5 ~ 70 % RH、結露なし | |
重量 | ||
花こう岩のテーブルおよびスタンド | およそ 320 kg (700 lb) | |
ほかのシステム | およそ 70 kg (150 lb) | |
寸法 | ||
スタンド付きの花こう岩のテーブル上の筐体 | 高さ 150 cm × 幅 90 cm × 奥行 60 cm (58 in. x 36 in x 24 in) | |
LCM | 高さ 8 cm × 幅 22.5 cm × 奥行 20 cm (3.1 in. x 8.9 in x 7.9 in) | |
MFC-CB | 高さ 8 cm × 幅 22.5 cm × 奥行 20 cm (3.1 in. x 8.9 in x 7.9 in) | |
GFS-FS | 高さ 20 cm × 幅 41.4 cm × 奥行 20 cm (7.9 in. x 16.3 in x 7.9 in) | |
対象ガス | 窒素(N2)、空気、アルゴン(Ar)、一酸化炭素(CO)、ヘリウム(He)、酸素(O2)、二酸化炭素(CO2)、四フッ化メタン(CF4)、Ethane (C2H6)、エチレン(C2H4)、フルオロホルム(CHF3)、ヘキサフルオロエタン(C2F6)、水素(H2)、メタン(CH4)、亜酸化窒素(N2O)、六フッ化硫黄(SF6)、キセノン(Xe) | |
流量測定レンジ | 最低: | |
He、H2 | 100 sccm ~ 10 slm | |
他のすべての気体 | 10 sccm ~ 10 slm | |
圧力接続配管 筐体からの出口流量パス |
1/8 インチ Swagelok チューブ取付金具または相当品、1/4 インチ Swagelok チューブ取付金具または相当品のアダプター付き | |
基準ガス・シリンダー圧力制限 | 20 MPa (3000 psi) | |
CE 準拠 | 対応可能(指定が必要)。 |
こちらの製品については日本国内での窓口は株式会社大手技研となっております。
型式 | 詳細 |
---|---|
GFS2102 |
動的重量測定マス・フロー・システム |
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